| No. | 装置 | 機種（ﾒｰｶｰ） |
| 1 | 走査型電子顕微鏡 | JSM6500-F（JEOL） |
| 2 | S4500（日立ﾊｲﾃｸﾉﾛｼﾞｰｽﾞ） | |
| 3 | 透過型電子顕微鏡 | JEM-2000FX（JEOL） |
| 4 | Tecnai Osiris（FEI） | |
| 5 | 走査型透過電子顕微鏡 | HD-2300C（日立ﾊｲﾃｸﾉﾛｼﾞｰｽﾞ） |
| 6 | 集束イオンビーム | FB-2100A（日立ﾊｲﾃｸﾉﾛｼﾞｰｽﾞ） |
| 7 | イオンミリング | Mode691PIPS（Gatan） |
| 8 | ウルトラミクロトーム | VLTRACUT VCT（Laica） |
| 9 | X線光電子分光装置 | JPS-9200（JEOL） |
| 10 | X線回折装置 | SmartLab（RIGAKU） |
| 11 | 電子線プローブマイクロアナライザ | JXA-8200（JEOL） |
| 12 | 走査型プローブ顕微鏡 | Dimension Icon（Bruker） |
| 13 | オージェ電子分光装置 | JAMP-7810（JEOL） |
| 14 | 機械研磨装置 | Roto-Pol（Struers） |
| 15 | 核磁気共鳴装置（溶液,固体,ｸﾗｲｵ） | AvanceⅢHD 500SB（Bruker） |
| 16 | ICP発光分光分析装置 | SPS3520UV-DD（日立ﾊｲﾃｸｻｲｴﾝｽ） |
| 17 | レーザーラマン分光光度計 | NRS2100（日本分光） |
| 18 | フーリエ変換型赤外分光光度計 | FTIR-8700・AIM-8800（島津製作所） |
| 19 | 顕微紫外可視近赤外分光光度計 | MSV-5200（日本分光） |
| 20 | 元素分析装置 | Flash EA 1112（Thermo Scientific） |
| 21 | 触針式表面段差計 | Dektak-150（ULVAC） |
| 22 | 分光エリプソメーター | SE-800（SENTECH） |